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等離子體的溫度高,能提供高焓值的工作介質(zhì),生產(chǎn)常規(guī)方法不能得到的材料,加之有氣氛可控、設(shè)備相對(duì)簡(jiǎn)單、能顯著縮短工藝流程等優(yōu)點(diǎn),所以等離子體技術(shù)有很大發(fā)展。1879年克魯克斯指出放電管中的電離氣體是不同于氣體、液體、固體的物質(zhì)第四態(tài),1928年朗繆爾給它起名為等離子體。最常見(jiàn)的等離子體有電弧、霓虹燈和日光燈的發(fā)光氣體以及閃電、極光等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,人們已能用多種方法人工產(chǎn)生等離子體,從而形成一種應(yīng)用廣泛的等離子體技術(shù)。一般來(lái)說(shuō),溫度在108K左右的等離子體稱高溫等離子體,目前只用于受控?zé)岷司圩儗?shí)驗(yàn)中;具有工業(yè)應(yīng)用價(jià)值的等離子體是溫度在2×103~5×104K之間、能持續(xù)幾分鐘乃至幾十小時(shí)的低溫等離子體,主要用氣體放電法和燃燒法獲得。氣體放電又分為電弧放電、高頻感應(yīng)放電和低氣壓放電。前兩者產(chǎn)生的等離子體稱熱等離子體,主要用作高溫?zé)嵩?后者產(chǎn)生的等離子體稱冷等離子體,具有工業(yè)上可利用的特殊的物理性質(zhì)。
等離子技術(shù)的應(yīng)用
等離子體電弧熔爐示意圖
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